SPD (Surface Solution Detector)

반도체 장비의 모든 제품의 표면 Particle을 부유시켜 Particle 잔류를 측정하는 장비

Particle Size Range

0.1, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0um

Method

Optical

Working Fluid

N₂

Laser Type

Laser Diode

Sample Size

＞ 10mm