- FR-PRO
- 백색광 반사 분광법 (WLRS)은 입사광이 Sample 표면에 수직인 상태에서 다양한 파장으로 필름 또는 다층 구조물에서 반사되는 빛의 양을 측정
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STEP. 01
Laser irradiation
Laser 광원이 Sample 조사
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STEP. 02
Refractive index, Reflected light
Sample 두께로 인해 굴절률 및 반사광 발생
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STEP. 03
Superimposed interference pattern
반사광의 파동이 중첩되어 간섭무늬 발생
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STEP. 04
Measurement
발생된 간섭무늬를 통하여 Sample 두께측정
- Thickness Accuracy
- 1 nm / 0.2%
- Thickness Precision
- 0.05 nm
- Light source
- Halogen
- Processing speed
- 1 point / 2 sec
- Range
- 12 nm ~ 100 um
- Spectrum
- 370 nm ~ 1020 nm
- Thin Film Coating 분석
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Coating Product Analysis Data SiO2 
Y2O3 
