- Nano Indentor
- nm 스케일의 Tip을 이용하여 하중에 따른 압입 깊이를 측정하고, 그에 따른 압입 경도, 압입 탄성율 분석
- MST(Micro Scratch Tester) 분석
- Tip을 사용하여 표면에 점진적으로 하중을 가하면서 긁음으로써 깨짐이나, 균열, 박리 등이 일어나는 지점에서의 하중 값을 확인
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STEP. 01
Prepare a flat sample
0.05 미만 Roughness 의 표면을 가지는 시편 준비
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STEP. 02
Contact of Indentation
박막에 탐사침을 접촉
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STEP. 03
Horizontal Movement of Sample
탐사침에 가해지는 수직하중을 증가시키면서 기판을 수평 이동
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STEP. 04
Measurement
샘플의 박리가 일어나는 지점의 하중 값 산출
- NHT(Nano Indentation Tester) 분석
- 압자를 시료 표면에 가한 후, 압입 깊이를 측정하여 경도와 탄성계수 산출
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STEP. 01
Prepare a flat sample
0.05 미만 Roughness 의 표면을 가지는 시편 준비
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STEP. 02
Insert of Indentation
시편 표면에 Berkovich Tip 종류의 압자 삽입
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STEP. 03
Measuremen
Tip Loading 과 Unloading 동안의 압자 하중값/ 압입 깊이 값을 사용하여 경도와 탄성 계수값 산출
- Max Weight
- 30N (MST) / 500mN (NHT)
- Resolution
- 10uN (MST) / 0.02uN (NHT)
- Sample Size
- 20×20×8mm
- Ceramic Coating MST(Micro Scratch Tester) 분석
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- Ceramic Coating NHT(Nano Indentation Tester) 분석
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