- ICP (유도결합 플라즈마, Inductively Coupled Plasma)
- 원자열의 증발과 이온화를 달성하기 위해 고온 플라즈마를 생성하는 기술
- MS (질량분석기, Mass Spectroscope)
- 화합물의 이온화를 통해 특정 질량을 가진 이온들의 수를 검출하는 방법
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STEP. 01
Sample Prep. & Sample Intro in Nebulizer & Spray-Chamber
분석 액체 시료 준비 & 액체 시료로 부터 미세한 에어로졸 만드는 시료 주입 시스템
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STEP. 02
Ion Source (ICP) in Torch Box
ICP torch 내부 Ar gas 주입 및 RF field에 의한 Ar atoms의 충돌을 통한 고 에너지 플라즈마 생성
고 에너지 플라즈마 (6000 – 10000 K)에 의한 에어로졸 시료 이온화 -
STEP. 03
Focus & Separate in Ion Lens
이온화 시료 Focusing & neutron, photon Separation from Background Signal
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STEP. 04
Collusion & Reaction in ORS
간섭 이온에서 분석물질 이온을 분리하는 물리 화학적 반응
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STEP. 05
Mass Filter in Mass Spectroscope
질량 분석기 내부에서 질량 기준으로 분석물질 이온 필터링
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STEP. 06
Detector in DDEM(Discrete Dynode Electron Multiplier)
다이노드/이온의 연쇄 충돌 반응을 통한 전자 신호 증폭 검출기
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STEP. 07
Data Analysis
“표준물질” 검량곡선과 비교해 정성/정량 분석 진행
- Nebulizer
- low sample flow rate (~0.2mL/min)
- Argon gas supply
- Minimum purity 99.99%, Maximum flow rate : 20 L./min
- Spray Chamber
- Controlled temperature range (-5 ℃ to +20 ℃)
- Plasma
- RF Power Range : 500 W to 1600 W
- Interface
- Sampling cone (Pt-tipped with Cu base), Skimmer cone (Pi-tipped)
- Mass Analyzer
- High frequency (3 MHz), Mass Range (2 – 260 amu)
- Resolution
- Variable from < 0.3 amu to 1.0 amu
- Sensitivity (Mcps/ppm)
- Li (7) : 50
Co (59) : 30 (cool plasma)
Y (89) : 240
TI (205) : 120
- He Mode Detection Limits (ppt)
- As (75) : 20
Se (78) : 40
- Sample Size
- Minimum Sample Volume Required for Analysis 10ml per analysis
