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주요사업

LPC

Particle Analysis

Liquid Particle
LPC
제조사
LIGHTHOUSE
모델명
Remote LPC 0.1um
LPC(Liquid Particle Counter)
DIW에 부유하는 미립자의 상대적인 크기와 수를 측정하며 용액을 Laser로 산란시킨 후 산란광량을 통해 입자 크기 측정
  • STEP. 01

    Laser irradiation

    Laser를 사용하여 Sample을 투과할 때 입자에 의해 산란되는 빛 측정

  • STEP. 02

    Detection

    감지기를 통해 산란된 빛은 양과 각도를 기반으로 입자의 크기 결정

  • STEP. 03

    Quantitative Analysis

    산란된 빛의 데이터를 정량분석 진행

Particle Size Range
0.1, 0.2, 0.3, 0.5um particle size
Flow
100 mL/min 유량
2 channels of simultaneous data
4-20mA Output
Sample Size
< 700×700×360mm
Particle Result

Unit : Concentration in Particles/cm²

Bath Stabilization Section Product In Stabilization Section
118 996 266
SPD