PSM (Particle Solution Machine)

반도체 장비의 Parts(Shower Head, ESC 등의 Hole Type 제품)의 Hole 내부의 Particle을 제거 및 검증 장비

Particle Size Range

0.1, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0um

Method

Optical

Working Fluid

N₂

Laser Type

Laser Diode

Sample Size

< 650mm

Particle Result